B.主要技术指标:
1、驱动箱水平滑行范围:120mm;
2、驱动箱滑行速度:0.2,0.5,0.8,1mm/s;
3、传感器返回形式:手动,自动;
4、基准导轨的直线性: 1μm/100mm;
5、驱动箱升降:滚动丝杠升降系统,机动升降,自动对准零位;
6、立柱垂直测量高度:270mm;
7、工作台结构:460mm×720mm大理石平台;
8、形状测量系统:
1)测量原理:垂直方向:触针法,光栅传感器;
水平方向:直线光栅;
2)测量范围:垂直40mm,水平120mm;
3)测量精度:垂直±(2+│H│/5000)μm,水平±4μm/100mm;
4)垂直分辨力:0.05μm;
5)水平分辨力:1μm ;
6)测量参数:垂直距离,水平距离,两直线夹角,圆弧半径,圆心-直线距离、圆心-圆心距离、直线度、圆轮廓度等形位公差参数;
7)图形放大倍率:无级连续放大;可至最小800倍,最大80000倍;
8)传感器测杆长:220mm;
9)测针长度:33mm;
10)针尖角度:11°;
11)针尖半径:20μm;
12)测力:0.02-0.06N;
13)传感器滑行角度:上升角≤77°,下降角≤88°;
9、微观轮廓测量系统
1)测量范围:垂直40μm(1200μm),水平120mm;
2)表面粗糙度Ra示值误差:≤±5%
3)最小分辨力:垂直0.6mm,水平1μm;
4)取样长度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;
5)评定长度:N倍取样长度,N=1,2,3,4,5;
6)粗糙度测量参数:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
7)波纹度测量参数:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
8)原始轮廓测量参数:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
9)微观轮廓测量参数:│X2-X1│,│Z2-Z1│;
10)图像分析功能:支承率曲线、幅度分布曲线、轮廓峰密度等;
11)轮廓图形垂直放大倍率:1-500000可选,亦可手动输入;
12)轮廓图形水平放大倍率:1-50000可选,亦可手动输入;
13)传感器测针:金刚石棱锥,锥角90°,针尖半径2μm。
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